壓力測量

Bronkhorst EL-PRESS壓力傳感器是一種硅晶片表面的壓電電阻電橋。該晶片的背面被鉆孔，從而與晶片內(nèi)部形成了壓力隔膜，該隔膜的厚度將決定其壓力范圍。當壓力作用于這一芯片上時，該隔膜將變形，從而使得電橋的電阻值根據(jù)其壓力所占的比例來改變。測量元件與外部壓力是通過一個超薄的敏感不銹鋼隔膜分開的，在隔膜以及元件中間的封閉腔中都被油所填充。