為達到薄膜涂層優(yōu)化品質標準，工藝氣系統(tǒng)必須能夠提供高品質的涂層一致性。當大規(guī)模的涂層設備在使用，維護的簡單化也是一個重要的關注點。布瑯鈳鍶特公司完全理解玻璃涂層工業(yè)的需求，因此開發(fā)了成熟的方案用以滿足大規(guī)模玻璃涂層應用的高端要求。

工藝方案

通過精準氣體噴濺獲得一致性的涂層是一種物理氣相沉積（PVD）工藝，其在高壓加速下將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能（強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。

噴濺的原子被推進到母體上，在其表面形成薄膜涂層。

這個工藝要求使用惰性氣體：氬氣為常用，但是有些噴濺工藝采用氧化物或氮化物參與其中；這樣的話，氧氣、氮氣需要加入到惰性噴濺氣體。

根據(jù)其特性，這個工藝要求低壓，但是工藝氣體流量需要足夠離子轟擊發(fā)生，否則不可能保持等離子。因此，工藝氣體必須精細控制，否則產(chǎn)品品質以及同質性的涂層將大打折扣。

由于比例電磁控制閥，布瑯鈳鍶特公司質量流量控制器是這一應用的理想選擇。可以同時實現(xiàn)超快、平穩(wěn)控制，優(yōu)化的穩(wěn)定性和重復性。