層流元件：流量計核心部件
| Bronkhorst 40多年來一直與供應(yīng)商密切合作，以期確保和優(yōu)化Bronkhorst流量計的質(zhì)量。與當(dāng)?shù)毓?yīng)商合作對Bronkhorst非常重要。 除了溝通交流、良好的交付可靠性和聯(lián)合創(chuàng)新實力，Bronkhorst還為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)做出了貢獻(xiàn)。其中一家公司是Veco Precision?。
Bronkhorst與 Veco Precision一起致力開發(fā)Bronkhorst核心部件之一：層流元件。層流元件是Bronkhorst流量計的機(jī)械心臟。為什么說層流元件是流量計的關(guān)鍵部件呢？ 熱式質(zhì)量流量計熱式質(zhì)量流量計測量氣體的質(zhì)量流量，采用加熱元件和溫度傳感器的組合，使用熱力學(xué)原理推導(dǎo)實際流量。溫度、壓力或密度變化需要少量校正并且很準(zhǔn)確，尤其是在測量小流量時。 |
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層流元件-核心部件圖1 所示層流元件是基于旁路原理的熱式質(zhì)量流量計的核心部件。層流元件(LFE)的功能是產(chǎn)生分流。對于基于旁路原理的熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量在主流道的旁路中測量。由于LFE的特定尺寸，可以產(chǎn)生與毛細(xì)傳感器管相同的線性壓力/流量特性。 Veco Precision 蝕刻的薄堆疊板用于創(chuàng)建層流元件，可測量非常小到中等大小流量(< 1 mln/min 到20 ln/min)。旁路是內(nèi)徑0.2mm的毛細(xì)管，可滿足快速響應(yīng)和低耗能要求，因為只需要加熱一小部分管道。 |
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化學(xué)蝕刻金屬零部件工藝為了創(chuàng)造行業(yè)產(chǎn)品，制造商須實現(xiàn)產(chǎn)品的小型化，從而實現(xiàn)組件的小型化。對于層流元件中的流盤，我們采用了化學(xué)蝕刻工藝，這是一種微精密零件的制造方法。 化學(xué)蝕刻化學(xué)蝕刻（也稱光化學(xué)加工和化學(xué)銑削）既快速又經(jīng)濟(jì)，精度也很高。無需高昂的工具或機(jī)械，即可生產(chǎn)復(fù)雜、多層次、多功能、高精度的零件。相較“傳統(tǒng)”機(jī)器工藝（如CNC加工、沖壓、金屬絲腐蝕）以及“更現(xiàn)代”的工藝（如激光切割和電化學(xué)加工），化學(xué)蝕刻具有靈活性和可擴(kuò)展性，提供了從原型機(jī)到大規(guī)模生產(chǎn)的具有競爭力的替代方案。快速原型可在幾天內(nèi)根據(jù)圖紙生產(chǎn)出來。 |
主要優(yōu)勢
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氣體流量測量流量測量同溫度、壓力和液位測量一樣被視為“需要知道”的工藝參數(shù)之一。準(zhǔn)確的氣體質(zhì)量流量測量對于許多工業(yè)和實驗室過程的操作和控制至關(guān)重要。 |
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EL-FLOW Prestige質(zhì)量流量計EL-FLOW Prestige?氣體熱式質(zhì)量流量計是下一代Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計/控制器。幾乎所有的核心部件都經(jīng)過了重新設(shè)計，升級和改進(jìn)。Bronkhorst在該系列引入了“溫差平衡”技術(shù)，確保良好的傳感器穩(wěn)定性。 |
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